半导体产业的基础:什么是晶圆?
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半导体产业的基础:什么是晶圆?

在半导体新闻中,晶圆总是以尺寸来提及,比如8英寸或12英寸的晶圆,但所谓的晶圆到底是什么?8英寸指的是什么?生产大尺寸晶圆的难度有多大?以下是对半导体最重要的基础的一步一步的介绍-什么是“晶圆”。
出版日期:2022年8月25日
半导体产业的基础:什么是晶圆?

什么是晶圆?

晶圆片是制造各种计算机芯片的基础。我们可以把芯片制造比作用乐高积木盖房子,通过一层一层的堆叠,我们可以完成我们想要的形状(即各种芯片)。然而,如果没有良好的基础,建成的房子就会歪歪斜斜,令人不满意。为了建造一个完美的房子,需要一个稳定的底板。对于晶圆制造,该衬底是下面描述的晶圆。

首先,回想一下我小时候玩乐高积木的时候,在积木的表面会有一个小的圆形突起。通过这种结构,我们可以在不使用胶水的情况下稳定地将两个块堆叠在一起。晶圆制造,以类似的方式,将随后添加的原子与衬底结合在一起。因此,我们需要找到表面整齐的衬底,以满足后续制造所需的条件。

在固体材料中,有一种特殊的晶体结构——单晶。它具有原子一个接一个紧密排列的特性,可以形成一个平坦的原子表面。因此,使用单晶制造晶圆可以满足上述要求。然而,如何生产这样的材料,主要有两个步骤,即提纯和拉晶,之后就可以完成这样的材料。

如何制作单晶晶片

净化分为两个阶段。第一步是冶金提纯。该工艺主要是通过添加碳,通过氧化还原将氧化硅转化为纯度在98%以上的硅。大多数金属的精炼,如铁或铜,都是用这种方法获得足够纯度的金属。然而,98%对于晶圆制造来说仍然是不够的,还需要进一步提高。因此,将采用西门子工艺进行进一步纯化,从而获得半导体工艺所需的高纯度多晶硅。

接下来是拉晶体的步骤。首先,将先前获得的高纯度多晶硅熔化形成液态硅。之后,单晶硅种子接触液体表面,并在旋转时缓慢向上拉。至于为什么需要单晶硅种子,是因为硅原子的排列方式和人们排队的方式是一样的,它们需要在第一线让后面的人如何正确排列。最后,离开液体表面的硅原子凝固后,整齐排列的单晶硅柱就完成了。

然而,8英寸和12英寸代表什么呢?实际上,它指的是晶体柱。制造大型晶圆片有多难?如前所述,水晶柱的制作过程就像制作棉花糖一样,是在旋转中形成的。任何做过棉花糖的人都应该知道,要做出又大又结实的棉花糖是相当困难的,拉晶体的过程也是一样的。转速和温度的控制会影响结晶塔的质量。因此,尺寸越大,对拉晶的速度和温度要求就越高,因此制作高质量的12英寸晶圆比8英寸晶圆更难。

然而,整个硅柱不能用作晶圆制造的衬底。为了一个接一个地生成硅片,使用金刚石刀将硅柱横向切割成晶片,并将晶片抛光形成晶片。制造所需的硅片。经过这么多步骤,晶圆基板的制作就完成了,接下来就是堆积房子的步骤,也就是晶圆制作。

2022年8月25日出版 来源:业务未来

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